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面向高精密电子元件电镀的新型脉冲电源设备研发与性能优化

作者

  • 侯进
    邯郸市大舜电镀设备有限公司 , 中国
期: 第 1 卷第 1 期 (2025 年): 《建筑与设计》(Architecture and Design ,AD)
关键词:
脉冲电源；电镀设备；高频控制；薄膜均匀性；微电子元件

摘要

随着微电子制造技术的持续发展，电子元件的结构尺寸不断缩小，对电镀精度和膜层质量的要求日益提高。传统电镀电源由于输出波形稳定性差、响应速度慢，难以满足高精密元件的电镀需求。新型脉冲电源技术因其优良的时间控制能力、可编程性和波形调节灵活性，成为实现高质量电镀的重要技术方向。本文围绕高精密电子元件电镀应用需求，分析传统电源存在的技术瓶颈，提出一种基于高速数字控制技术的新型脉冲电源设计方案，并从波形精度、电流响应、系统稳定性等方面进行优化研究。研究表明，该设备具备高稳定性、高分辨率和多模式输出能力，显著提升了镀层均匀性和结合力，适用于微电子制造、芯片封装等多个精密加工场景。